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坩埚喷涂烘烤装置

2016-10-21 10:17:15 | 浏览次数:7179 次

  坩埚喷涂烘烤装置是多晶硅铸锭炉的辅助工艺装备,用于对铸锭炉所使的石英坩埚进行脱模剂(SiN 粉末)涂层喷涂。

  本设备为半自动坩埚烘烤喷涂站,它克服了手动喷涂的很多缺点。半自动喷涂站主要是由两个或四个工位烘箱,一个真空吸盘式搬运专用小车、一个喷涂机械手及一套控制系统组成的。

  工作流程:一号工位的烘箱装好坩埚后预热,此时二号工位已经预热好的坩埚由机械手开始喷涂,喷涂完成后通过运输专用小车把喷涂好的坩埚卸下,并装入新的坩埚预热;装卸坩埚的过程中,机械手会自动旋转设定的角度,对已经预热好的一号工位的坩埚进行喷涂,如此反复动作(四工位以此类推,按序进行)。

本设备的优点:

1. 采用先进的电加热控制系统,保证烘箱的温度均匀,整个加热和喷涂过程实现全自动化。

2. 采用两个或四个工位,当机械手在喷涂其中一个坩埚时,另一边的工位可以完成装卸坩埚和预热的工作,这样就大大提高了喷涂的速度,从而提高了工作效率。

3.配有专门装卸和运输坩埚的专用小车,操作工只要操作小车完成相应的工作,极大地减轻了工人的劳动强度,提高了生产效率。

4.采用了机械手进行喷涂工作,而无需操作工进行喷涂,所以很大程度上杜绝了SiN粉尘对操作工身体健康的危害;同时也保证了涂层的均匀度,减少了材料(SiN粉末)的浪费等等。

地 址:江苏省溧阳市上兴工业集中区通港大道2号
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